全球首台！苏大维格大型紫外 3D 直写光刻设备 iGrapher3000 投入运行

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IT之家7月28日消息 苏大维格科技官方宣布，大型紫外 3D 直写光刻设备 iGrapher3000下线并投入工业运行。iGrapher3000 主要用于大基板上的微纳结构形貌的 3D 光刻，是新颖材料、先进光电子器件的设计、研发和制造的全新平台，堪称为光电子产业基石性装备，为产业合作创造新机遇。从集成电路图形的平面光刻，迈向光电子的 “微结构形貌”的 3D 光刻，iGrapher3000 为新颖材料和功能光电子器件提供了先进手段，下图为 iGrapher3000 紫外 3D 光刻装备（110 吋幅面，2500mmx1500mm）照片和微纳结构形貌 SEM 照片。此次安装在维业达科技有限公司黄光车间的 iGrapher3000，首个工业应用项目是大尺寸透明导电膜的深槽结构微电路模具，并将用于大面积平板成像、柔性导电器件和全息显示与 3D 显示研发和产业化应用。面向大面积新颖材料与功能器件的需求，大型紫外 3D 光刻系统