消息称台积电已为明年生产下定13台EUV光刻机：花了至少120亿

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台积电和三星均已投入5nm工艺的量产，前者代工的产品包括苹果A14、M1、华为麒麟9000等，后者则包括Exynos 1080以及传言中的骁龙875等。 其实从7nm开始，台积电和三星就开始引入EUV光刻，但过程层数较少。按照ASML（阿斯麦）的说法，迭代到5nm后，EUV的层数达到了14层，包括但不限于触点、过孔以及关键金属层等过程。未来的3nm、2nm，对EUV的依赖将更甚。 作为目前唯一能生产EUV光刻机的荷兰ASML来说，自然成了台积电和三星争抢的香饽饽，即便单台价格达到了1.2亿欧元（约合9.4亿元人民币）。 来自Digitimes的最新报道称，台积电为明年生产，已经向ASML下定了至少13台EUV光刻机。简单估算的话，花费的金额超120亿元人民币。 需要明白的是，EUV光刻机不是有钱就能买，因为ASML每年的产能非常有限，2019年全年才出货了26台，今年上半年出货了13台，截至三季度结束累计才出货23台。 另外，A