Digitimes：台积电今明年 EUV 交货 30 台起步，稳坐 ASML 第一大…

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IT之家11月13日消息 据半导体渠道权威媒体 Digitimes 今日报道，半导体设备行业人士透露，相较于三星电子 (Samsung Electronics)少主李在镕亲自出访 ASML，要求提前交付已下单的 EUV 设备，台积电早已针对这两年的机台需求做了超前准备。业者透露，不用总裁亲自飞往荷兰要求 ASML 提速交货，台积电已向 ASML 确认 2020-2021 年 EUV 设备机台订单量与交货日期。2020 年是 5nm 全速冲刺的关键时期，全年台积电下单量约达 15-16 台，2021 年则至少 13 台起步，预计全年约 16-17 台，方可满足 5nm 扩产及 3nm 上阵的需求。据估算，至 2020 年底，台积电 EUV 设备采购量累积达 30 多台，光是 5/3nm 节点的南科厂目前就达 20 台，比三星、英特尔现有 EUV 光刻机还要多，预估至 2021 年底总计将逾 50 台，三星晶圆代工届时约