ASML中国展示DUV光刻机：对向中国出口光刻机保持开放态度

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11月5日，世界光刻机巨头荷兰阿斯麦ASML亮相第三届进博会。作为全球唯一能生产EUV（极紫外光）光刻机的企业，由于ASML目前仍不能向中国出口EUV光刻机，所以此次展示的是其DUV（深紫外光）光刻机。据悉，该产品可生产7nm及以上制程芯片。 ASML此次也带来了其整体光刻解决方案，包括先进控制能力的光刻机台计算光刻和测量通过建模、仿真、分析等技术，让边缘定位精度不断提高。 ASML中国区总裁沈波接受媒体采访时表示，该公司对向中国出口集成电路光刻机持开放态度，对全球客户均一视同仁，在法律法规框架下，都将全力支持。 沈波透露，自30年前进入中国市场以来，ASML已提供了全面的技术和能力来满足中国客户的需求。目前在中国一共为客户提供了700多台装机。在遵守法律法规的同时，ASML全力支持客户和中国集成电路行业的发展。 被问及有没有向中国出口EUV光刻机的打算，他表示，EUV光刻机还在等荷兰政府的出口许可证。ASML必须要在遵守法律