「睿励科学仪器」完成数亿元B轮融资，专注国产半导体量检测设备｜硬氪首发

作者｜黄楠 编辑｜袁斯来 硬氪获悉，睿励科学仪器(上海)有限公司（以下简称「睿励科学仪器」）近日完成数亿元B轮融资，本轮融资由金石投资、招商致远领投，清控金信、河南资产、鼎青投资等资方跟投。 融资资金将用于高精度光学量检测系列产品的研发和市场化推广，丰富公司的产品矩阵，加速扩大生产并加强公司的市场拓展和品牌建设等。 「睿励科学仪器」成立于2005年，是一家专注于半导体前道工艺的量检测设备公司，为国家级高新技术企业、国家级专精特新“小巨人”，先后承担两个国家级“02专项”，具备全自主研发技术。公司总部位于上海浦东新区，其团队成员多来自全球前两位量检测设备企业和国内知名光学技术公司，有18年产品开发和市场应用经验。 芯片量检测设备可细分为检测（Inspection）和量测（Metrology）两大类。其中，量测指对晶圆电路上的结构尺寸和材料特性进行量化描述，包括薄膜厚度、关键尺寸、刻蚀深度、表面形貌等物理性参数的