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消息称三星电子 2025 年初引进其首台 ASML High NA EUV 光刻机

2024-10-30 17:51:26来源: IT之家

IT之家 10 月 30 日消息,韩媒 ETNews 当地时间昨日报道称,三星电子已决定 2025 年初引进其首台 ASML High NA EUV 光刻机,正式同英特尔、台积电展开下代光刻技术商业化研发竞争。三星电子此前同比利时微电子研究中心 imec 合作,在后者与 ASML 联手建立的 High NA EUV 光刻实验室进行了对 High NA 光刻的初步探索;此次引入自有 High NA 机台将加速三星的研发进程。▲ ASML 首代 High NA EUV 光刻机 EXE:5000考虑到精密的 High NA EUV 光刻机需要一段时间用于安装和调试,该机台有望最早于明年中旬投入研发使用。由于三星目前半导体先进制程路线图已规划至 SF1.4 节点(IT之家注:2027 年量产),采用 High-NA 光刻的制程最早也需要等到 SF1。三星在先进制程代工领域的两家主要对手中,英特尔已完成第二台 High

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