消息称台积电今明两年将接收超 60 台 EUV 光刻机，相关投资超四千亿新台币

图片地址：https://img.ithome.com/newsuploadfiles/2024/7/b5bb659f-8d2a-463b-80e1-bb2823c3cc02.png

IT之家 7 月 1 日消息，据台媒《工商时报》报道，台积电将在 2024~2025 年接收超 60 台 EUV 光刻机，而其今明两年在 EUV 光刻机上的投入将超 4000 亿新台币（IT之家备注：当前约 896.61 亿元人民币）。报道表示，ASML 的 EUV 光刻机目前供应紧张，从下单到交付的整体周期已达 16~20 个月。台积电今明两年将分别下达约 30 和 35 台的 EUV 光刻机订单，这些订单中的大部分将从 2026 年开始交付。台媒援引供应链消息指出，ASML 对 2025 年产能的规划是 20 台 High-NA EUV 光刻机、90 台 EUV 光刻机和 600 台 DUV 光刻机。▲ ASML 目前最先进的 0.33NA EUV 光刻机 NXE:3800E根据台积电官方路线图，其目前已规划的最先进工艺 16A 将于 2026 年量产，仍采用传统 0.33NA EUV 光刻机。换句话说，