张江集团：上海微电子成功研制出中国首台28nm光刻机｜硅基世界

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（图片来源：钛媒体App编辑拍摄）传闻落地，中国成功研制出首台28nm光刻机。钛媒体App 12月20日消息，据张江集团官方账号“你好张江”于19日披露，作为国内唯—一家掌握光刻机技术的企业，上海微电子已成功研制出28nm光刻机。此文章还肯定了中芯国际、华虹半导体等在先进模拟芯片代工方面不断注入的强劲能量。据悉，上海张江（集团）有限公司（简称“张江集团”）于1992年7月28日挂牌设立，是一家统筹承担张江科学城开发建设、项目引进、产业培育、功能服务、创新创业氛围营造等重要功能的国有独资公司，隶属于上海市浦东新区政府监管单位。因此，张江集团公布的这一消息，标志着中国最新28nm前道光刻机研发进展首次被官方披露。公开信息显示，上海微电子（SMEE）成立于2002年，是由国内多家产业集团和投资公司共同投资组建的高科技股份有限公司。公司主要致力于半导体装备、泛半导体