万分级高精度MEMS谐振式压力传感器转化应用取得新进展

36氪获悉，据中国航天科技集团官微，中国航天科技集团有限公司九院704所完成了万分级高精度MEMS谐振式压力传感器研制。万分级高精度MEMS谐振式压力传感器主要技术指标比传统应变式、压阻式、电容式等原理的压力传感器高1~2个数量级，且具有数字化输出、抗干扰、长寿命和抗辐照等优点，技术指标、稳定性、可靠性和环境适应性均达到国际先进水平。目前，该产品已应用于航天发动机压力监测、航空大气数据系统等领域。