俄罗斯圣彼得堡理工大学开发出可以替代光刻机的芯片制造工具

IT之家 10 月 9 日消息，2023 年 3 月，俄罗斯工贸部下令开发用于微电子生产的光刻材料，特别是光刻胶的生产，而该部门将为这项工作拨款 11 亿卢布（IT之家备注：当前约 7986 万元人民币） 。据俄罗斯国际新闻通讯社报道，圣彼得堡理工大学的研究人员开发出了一种“国产光刻复合体”，可用于蚀刻生产无掩模芯片，这将使“解决俄罗斯在微电子领域的技术主权问题”成为可能。圣彼得堡理工大学代表透露。该设备综合体包括用于无掩模纳米光刻和等离子体化学蚀刻的设备。据介绍，其中一种工具的成本为 500 万卢布（当前约 36.3 万元人民币），另一种工具的成本未知。第一种设备可用于在基底上获得图像，而无需特殊掩模。据开发人员称，与传统光刻技术相比，无论是在成本还是时间方面，这项技术都划算得多，因为传统光刻技术需要使用专门的掩膜板来获取图像。该装置由专业软件控制，可实现完全自动化。这位代表称，该综合体由圣彼得堡理工大学开发，旨在创