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国产光刻机工厂落地雄安？中国电子院澄清：这是北京高能同步辐射光源

2023-09-18 18:22:01来源: 36氪

近期，一则消息在各大视频平台广为传播，称清华大学EUV项目把ASML的光刻机巨大化，实现了光刻机国产化，并表示这个项目已经在雄安新区落地。对此，中国电子工程设计院有限公司发声，称该项目并非网传的国产光刻机工厂，而是北京高能同步辐射光源项目（HEPS）。（澎湃）

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标签：光刻机

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