中微公司发布用于深紫外LED量产的MOCVD设备Prismo HiT3(TM)

上海2020年7月30日 /美通社/ -- 中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”，上交所股票代码：688012）今日宣布推出Prismo HiT3TM MOCVD设备，主要用于深紫外LED量产。 中微Prismo系列MOCVD设备目前已进入全球大多数领先的蓝绿光LED制造商，此次推出的Prismo HiT3TM是中微Prismo系列MOCVD设备的最新产品。该设备是适用于高质量氮化铝和高铝组分材料生长的关键设备，反应腔最高温度可达1400度，具有优异的工艺重复性、均匀性和低缺陷率。该设备同时也为高产量而设计，单炉可生长18片2英寸外延晶片，并可延伸到生长4英寸晶片。 中微公司Prismo HiT3TM MOCVD设备早期的客户包括国内领先的深紫外LED制造商马鞍山杰生半导体有限公司，该公司的深紫外LED在家用、医疗和科研设备等领域有广泛应用。 深紫外光几十年前就被应用于工业和民用消毒杀菌领域。它通过