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为下一代半导体铺路,日本科学家用激光解决金刚石晶圆切片难题

2023-08-03 10:39:49来源: IT之家

IT之家 8 月 3 日消息,金刚石(钻石的原石)是半导体行业有前景的材料之一,但由于将其切割成薄晶圆具有挑战性,因此一直没有大规模应用。当地时间周二,日本千叶大学官网发布消息,介绍了一项被称为金刚石半导体新型激光切片技术的突破,使用激光脉冲将金刚石切割成薄片,号称“为下一代半导体材料铺平了道路”。千叶大学的一个研究小组开发了一种新的基于激光的技术,号称“可以毫不费力地沿着最佳晶面切割金刚石”,可用于电动汽车的高效功率转换和高速通信技术。▲ 图源日本千叶大学官网据介绍,包括金刚石在内的大多数晶体的性质都沿着不同的晶面变化,这些晶面是包含构成晶体的原子的假想表面。虽然人们可以轻松地沿着表面切割金刚石。然而,切割时会沿着解理面产生裂纹,增加切口损失,因此无法用于切片。千叶大学的研究团队采用了新的方法,虽然激光不会将金刚石切割成晶圆网格,但“集中的激光照射会将金刚石转化为密度低于金刚石的无定形碳。”由此产生的金刚石结构中密度较低的网格

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标签: 半导体