36氪首发| 「星微科技」完成近亿元A轮融资，加速半导体设备零部件国产化

作者｜虞景霖编辑｜杨逍近日，36氪获悉，无锡星微科技有限公司（以下简称“星微科技”）完成近亿元A轮融资，本轮投资由耀途资本领投，常春藤资本、北洋海棠基金等共同投资，所募资金将用于加快推进产品研发、扩大运营生产规模、加强国内外市场扩展和提升客户服务能力，推动国内半导体设备零部件领域的技术创新。星微科技成立于2015年，主要面向半导体设备领域提供精密运动控制产品；2017年开始晶圆传输系统产品的设计研发；2019年研发生产晶圆传输系统核心产品晶圆传输机械臂；2020年起，公司的精密运动台及传输系统在半导体量检测类、泛半导体精密制造等设备实现批量出货。半导体精密运动平台对下游设备厂商依赖度大，上游部件公司需要下游设备厂商提出明确需求后，才能针对性地设计、研发及生产。我国半导体晶圆传输设备起步晚，价格、性能较日美欧产品不具优势，国产化水平极低。根据中银证券测算（基于SEMI、IC Insight、JW Insight统计数据），2022