36氪首发｜「优睿谱」完成近亿元A轮融资，专注半导体前道量测设备

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近日，36氪获悉，半导体前道制程量测设备公司优睿谱完成近亿元A轮融资，本轮融资由基石浦江领投，浑璞投资、星河资本、中南创投、泓湖资本、杭州盟合、景宁灵岸等跟投。本轮融资将用于新产品的研发及量产。公司同时宣布启用无锡技术中心和上海金桥研发中心。优睿谱成立于2021年，致力于打造高品质的半导体前道量测设备。半导体量测设备主要用于半导体制造工艺中缺陷检测和参数测量，广泛用于硅片制造、芯片制造、先进封装领域，如关键尺寸测量设备、薄膜厚度测量设备、缺陷检测设备等。前道制程量测设备已超过百亿美元市场规模。而更先进的制程工艺也扩大了量测设备的需求，给量测设备带来更多新的市场空间。优睿谱自主开发了半导体专用傅里叶变换红外光谱测量设备，可以用来测量外延层厚度及均匀性、元素浓度、硅料杂质含量等。产品方面，优睿谱FTIR设备Eos200Lite可用于碳化硅外延片外延层厚度及均匀性测量，目前已获得多家头部碳化硅基外延厂订单；Eos200/200+, E