英特尔爱尔兰 Fab 34 工厂首台 EUV 光刻机开机并产生 13.5nm 波长的光，助力 Intel4 工艺量产

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IT之家 12 月 25 日消息，英特尔是坚定的摩尔定律拥护者，尽管每代制程的技术指标都十分给力，但在进度上确实确实已经落后于台积电和三星电子。目前英特尔 12 代、13 代处理器依然在使用 Intel 7 工艺（原 10nm Superfin），而明年的 Meteor Lake 将采用新一代的 Intel 4 工艺（原 7nm）。Intel 4 将会是 Intel 首个基于 EUV 极紫外光技术的 FinFET 工艺，每瓦性能可提升 20%，而 Meteor Lake 计划于今年第四季度流片，2023 年出货。Intel 4 之后是 Intel 3，是最后一代基于 FinFET 的技术，每瓦性能可提升 18%，此前计划 2023 年下半年开始生产。再往后是 Intel 20A 工艺，届时英特尔也将会放弃 FinFET 技术，转向 GAA 路线，20A 将采用两大突破性技术 ——PowerVia、RibbonFET，前