中国科大 6G 滤波器研发取得重大突破

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近日，中国科学技术大学（以下简称“中国科大”）网站对外发布，中国科大在 6G 滤波器领域取得重要进展。该研究成果由微电子学院左成杰教授研究团队在铌酸锂（LiNbO3）压电薄膜上设计并实现了 Q 值超过 100000 的高频（6.5 GHz）微机电系统（MEMS）谐振器，与文献中现有的工作相比，把 Q 值提升了 2 个数量级。其中，左成杰教授为论文通讯作者，微电子学院博士生戴忠斌为论文第一作者。此项研究工作得到了国家重点研发计划和中央高校基本科研基金的资助，也得到了中国科大微电子学院、中国科大微纳研究与制造中心、中国科大先进技术研究院和中国科学院无线光电通信重点实验室的支持。据悉，相关成果以“Ultra HighQLithium Niobate Resonator at 15-Degree Three-Dimensional Euler Angle”为题于 5 月 16 日在线发表在电子器件领域知名期刊 IEEE Electron