AXCELIS宣布向日厂商发运功率注入机

Purion Power系列具有300mm薄晶圆处理能力 马萨诸塞州比佛利2022年3月31日 /美通社/ -- 半导体行业离子注入支持解决方案的领先供应商Axcelis Technologies, Inc.（纳斯达克股票代码：ACLS）今天宣布，公司向日本领先的功率设备芯片制造商发运其Purion XE™高能和Purion M™中等电流Power Series™注入机。这些系统将用于大批量生产基于300mm薄硅晶圆的MOSFET和IGBT设备，以用于汽车和其他功率管理应用。 产品开发执行副总裁Bill Bintz表示：“Purion Power系列的独特功能，结合功率设备领域的密集注入特性，将赋予Axcelis独特的条件来从这一市场的增长中受益。这些工具集成了多项功能和工艺控制能力，包括该平台为功率设备市场提供支持的薄晶圆处理能力。我们期待扩大Purion平台在日本的业务范围，并支