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每台售价 2 亿美元 阿斯麦的 EUV 光刻机为什么别人还造不了

2022-03-24 15:29:35来源: IT之家

3 月 24 日消息,在荷兰南部靠近比利时边境的维尔德霍温镇,坐落着全世界唯一一家能够组装 EUV(极紫外)光刻机的工厂。世界上最大的芯片制造商们都需要这种设备。在生产处理器芯片的过程中,EUV 光刻机最昂贵。目前全世界只有阿斯麦(ASML)能制造出 EUV 光刻机。美国塔夫茨大学弗莱彻学院助理教授克里斯・米勒 (Chris Miller) 表示:“阿斯麦在制造 EUV 光刻机方面拥有市场垄断地位。EUV 光刻机是最先进的光刻设备,我们今天使用的每一块先进处理器芯片都需要这种设备。”“他们生产的每一台机器都是有史以来最复杂的设备之一。”EUV 是极紫外线的缩写。阿斯麦生产的 EUV 光刻机可以大量产生这种波长极短的光,用于在微芯片上打印细小而复杂的图案。熔融锡在极快速度下发生微小爆炸,从而产生极紫外线,然后通过蔡司最平坦的镜面反射回来。一小部分 EUV 光粒子照射到硅片表面,按照芯片设计蚀刻图案。由于全球范围内的芯片短缺问题,从

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