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中国首台2.5D/3D先进封装光刻机成功交付

2022-02-08 00:22:32来源: 新浪科技

上海微电子举行首台2.5D/3D先进封装光刻机发运仪式,这标志着中国首台2.5D/3D先进封装光刻机正式交付客户。

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标签: 光刻机