阿斯麦柏林工厂火灾波及EUV光刻机一部件生产区域 尚未恢复

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【TechWeb】1月10日消息，据国外媒体报道，本月3日，光刻机制造商阿斯麦位于德国柏林的一座工厂发生火灾，大火在当晚被扑灭，没有人员在火灾中受伤，阿斯麦随后也宣布将对火灾的影响进行评估，并对外公布相关的消息。 阿斯麦官网的信息显示，他们已完成柏林工厂火灾影响的初步评估。 阿斯麦在官网上表示，上周一的火灾，发生在柏林工厂的一栋建筑中，火灾中的烟雾，部分影响到了相邻的建筑，受影响建筑的部分生产已能恢复，其他未受影响的建筑，已全面运营。 火灾影响的损坏评估仍在进行中，但阿斯麦方面表示，从目前的情况来看，他们计量和检测产品的产出计划将不会受到影响，因为没有相关的部件在柏林工厂生产。 虽然火灾未影响到计量和检测产品部件的生产，但阿斯麦位于柏林的工厂，生产DUV和EUV光刻机的部分部件，这两类光刻机部分部件的生产，在火灾中都受到了影响。 阿斯麦在官网上表示，DUV光刻机零部件的生产部分中断，生产已经恢复，预计他们将以一种不会影响DUV