国产首台！万业企业：高能离子注入机通过客户验证，芯片制造关键一环

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IT之家 12 月 27 日消息，万业企业今日在上证 E 互动平台回复投资者，公司旗下凯世通的高能离子注入机设备已顺利通过客户验证并完成验收。这是国产高能离子注入机首次通过晶圆厂验证。IT之家了解到，离子注入机是芯片制造中的关键装备。在芯片制造过程中，需要掺入不同种类的元素按预定方式改变材料的电性能，这些元素以带电离子的形式被加速至预定能量并注入至特定半导体材料中，离子注入机即是执行这一掺杂工艺的芯片制造设备。高能离子注入机是离子注入机中技术难度最大的机型。长久以来，因其极大的研发难度和较高的行业竞争壁垒，被称为离子注入机领域的“珠穆朗玛峰”，是我国集成电路制造装备产业链上亟待攻克的关键一环。凯世通官网显示，上海凯世通半导体股份有限公司于 2009 年 4 月在张江成立，由国际离子注入技术协会终身常务理事 —— 陈炯博士为首的五位国际知名离子注入设备专家创立。该团队所开发的离子注入机全球销售逾千台。