“技术奇迹”EUV光刻机被美国限制出口的真相

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EUV 光刻机是一项技术奇迹。一台发生器每秒喷射出 5 万个微小的熔锡液滴，高功率激光对每个液滴进行两次爆破，第一次可以使锡成形，第二次是使锡蒸发成等离子体。等离子体发出极紫外光辐射，这种辐射聚集成光束并通过一系列反射镜反射最终撞击晶圆。反射镜十分光滑，以至于即使扩大到德国国土面积的尺寸大小，其凹凸也不会超过 1 毫米。EUV 光束撞击晶圆的精度很高（本身就是材料科学的奇迹），相当于一把从地球上发射的弓箭直接击中放在月球上的苹果。EUV 光刻机就是通过这样一系列操作，将晶体管拉入 5nm 的晶圆，5nm 大概相当于我们的指甲在 5 秒内长出的长度。技术奇迹 EUV 光刻机的制造困局一台 EUV 光刻机由 10 万多个零件组成，成本约为 1.2 亿美元，需要用 40 个货运集装箱装运。但就是这台价值 1.2 亿美元的机器，目前世界只有几十台，各国对其的需求量也远远超过供应量，且还有大约两年的未交货订单。之所以数量少，是因为目前世界