华卓精科冲刺科创板：去年拿超3亿补助 要做光刻机第一股

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雷帝网雷建平7月1日报道北京华卓精科科技股份有限公司（简称：“华卓精科”）日前向科创板递交招股书，要做国内光刻机第一股。华卓精科此次计划融资10.35亿元。其中，3.65亿元用于半导体装备关键零部件研发制造项目，1.4亿元用于超精密测控产品长三角创新与研发中心、1.5亿元用于集成电路装备与零部件产品创新项目，3亿元用于企业发展储备资金。去年拿3.2亿政府补助华卓精科主营业务为光刻机双工件台、超精密测控装备整机以及关键部件等衍生产品的研发、生产以及销售和技术服务。华卓精科专注于纳米级超精密测控技术，是国内领先的集成电路制造装备及其核心部件、精密/超精密运动系统及相关技术供应商，致力于在实现超精密机械与测控技术成果产业化的基础上成为中国乃至全球卓越的精密科技公司。公司以光刻机双工件台为核心，并以该产品的超精密测控技术为基础，开发了晶圆级键合设备、激光退火设备等整机产品，以及精密运动系统、隔振器和静电卡盘等部件衍生产品。招股书显示，华卓精科2017年、2018年、2019年营收分别为5410万