国产半导体设备大点兵：光刻机突围，中芯国际 28nm 产线冲锋

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9 月 23 日报道，上周，国产设备厂商北京华卓精科科技股份有限公司成功过会。事实上，自今年 6 月以来，华海清科、华卓精科、拓荆科技、屹唐股份等国产设备厂商纷纷进入上市流程，其承担的集成电路研发项目也有所突破。而这正是下游中芯国际等厂商所期待的“及时雨”。本月，中芯国际披露其将在上海临港再建一座晶圆厂，该晶圆厂总投资 88.7 亿美元，计划产能为每月 10 万片 12 英寸晶圆产能。上海临港管委会为该晶圆厂项目得合资方，出资 25%；中芯国际出资则不低于 51%。根据公告，中芯国际位于上海临港的晶圆厂将提供 28nm 及以上技术节点的晶圆代工与技术服务。这已经是中芯国际在一年里第三次宣布扩产、建厂。同时台积电、联电、格芯等代工厂商都选择扩张 28nm 产能，可见 28nm 制程已成为各家厂商争夺的关键战场。但由于中芯国际被列入美国商务部的实体清单，如果想要获得应用材料、泛林半导体等美国公司的设备，就需要向美国政府申请出口许可证