中欣晶圆：连续成功拉制12寸450公斤投料晶棒，量产可期

杭州2021年9月16日 /美通社/ -- 2021年8月17日，中欣晶圆首根12寸450公斤投料晶棒问世，该晶棒净重437.7kg，体长2900mm，身长2400mm，良率达到87.6%，相较于之前300公斤投料量时的良率提高了4.6个百分点。9月5日喜报再次传来，第二根12寸450公斤投料晶棒再次拉制成功，参数指标与第一根晶棒相差无异，公司目前已经具备标准化量产12寸450公斤投料晶棒的技术和工艺水平。在全球范围内，中欣晶圆是极少数几家能做到成功拉制12寸450公斤投料晶棒的半导体硅片企业。 中欣晶圆投料晶棒研发团队相关人员表示：此次“超重”晶棒的拉制成功对企业具有里程碑式的意义，其优势在于： 一、实现工艺提升 在晶棒拉制过程中，投料越多对工艺、单晶炉台控制精度都会有更高的要求。由于32寸石英坩埚一次性最多能装340公斤的多晶硅料，所以投料量增加至450公斤必须要采用二次投料技术来实现。自中欣晶圆12寸4