EUV 时代全面加速，ASML 设备出货超 100 台

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据业内透露，截至第二季度，ASML EUV 设备出货总量达到 102 台，随着需求量的提高和客户群的扩大，预计 2 年内累计供应量将增加 2 倍以上，标志着 EUV 时代正式拉开帷幕。据 ETNews 报道，过去四个季度（2020 年第三季度-2021 年第二季度），ASML EUV 设备出货总计 40 台，较之前四个季度（2019 年第三季度-2020 年第二季度）增长了 66%。ASML 今年的出货目标是 40 台左右，下半年将供应 25 台左右。ASML 扩大 EUV 设备供应响应了半导体制造业实现超微电路层的需求。尽管每台设备的价格达到 1.71 亿美元，但由于其卓越的工艺成本和省时效果，可以抵消设备采购的成本。业内人士指出，通过 EUV 可以降低设备成本和工艺成本，因此，在微加工领域引进 EUV 设备的企业越来越多。根据 ASML 的说法，5-7nm 逻辑半导体（以每月 45,000 颗晶圆为基准）每个 EUV 层需要