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日韩两地齐增产,住友化学 ArF 用光刻胶有望扩产 1.5 倍

2021-09-01 17:39:12来源: IT之家

9 月 1 日消息 为应对当地芯片厂需求,日本大厂住友化学拟在韩国兴建先进半导体材料厂房,生产应用于最先进制程的光刻胶,同时在日本增加新产线,整体最先进制程用光刻胶产能有望扩增 1.5 倍。▲ 图源:WBCSD据 MoneyDJ 报道,住友化学 8 月 31 日宣布,将加强最先进制程用光刻胶生产,计划在日本大阪工厂增设 ArF 及 EUV 用光刻胶产线,预计在 2023 年上半年启用生产。同时,其位于韩国益山市的全资子公司 Dongwoo Fine-Chem 也将兴建浸润式 ArF 用光刻胶产房,预计在 2024 年上半年启用生产。若上述计划进展顺利,到 2024 年,住友化学整体最先进制程用(ArF)光刻胶产能将较 2019 年提高 1.5 倍。据了解,住友化学 ArF 用光刻胶目前仅由日本大阪工厂生产,由于在性能、品质上具有优势,全球市占率高,而韩国的 Dongwoo Fine-Chem 工厂此前为公司

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