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打破国外垄断,科翰龙自研晶圆打码机 WM-SC800R 正式通过验收

2021-08-31 16:09:41来源: IT之家

近日,科翰龙自主研发的晶圆打码机 WM-SC800R 通过验收。北京亦庄消息显示,这是国内首台通过 FAB 厂(通常指半导体工厂)验收的具有自主知识产权的晶圆 (Wafer) ID 打码设备。图片来源:北京亦庄据介绍,两年前,WM-SC800R 就在 FAB 厂的 8 英寸集成电路晶圆生产线上进行晶圆 (Wafer) ID 软打码测试及试生产。检测结果优良,该晶圆打码机所加工的晶圆 (Wafer) ID 码完全达到了 SEMI (半导体设备与材料的国际性组织) 标准的要求,达到了用户关于软打码颗粒数的要求,完全达到了 ISO 1 级环境下的要求。经过两年的测验,今年 8 月,晶圆打码机 WM-SC800R 终于正式通过验收。科翰龙副总经理王向阳表示,为了打破国外公司在相关领域的长期垄断,科翰龙利用自己的技术优势研发了晶圆 (Wafer) ID 打码设备。WM-SC800R 在激光器的选用、光路的设计、晶圆定位的方法、设备结构设计

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