阿斯麦 ASML 最先进 DUV 光刻机有多快：12 秒完成一整片芯片晶圆

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IT之家 8 月 24 日消息 据 ASML 官方科普，从光源开始，沿着光路包括照明模组、投影物镜模组以及浸润式光刻，另外在光刻机内，还有另一个“大神”，它聚集了光刻机中最重要的运动部件，是系统的机械“心脏”，它就是晶圆平台模组（Wafer stage module）。ASML 表示，在这样一个争分夺秒的行业里，时间就是金钱。ASML 也一直在追求光刻机极致的速度，目前最先进的 DUV 光刻机，每小时可以完成 300 片晶圆的光刻生产。换算一下，完成一整片晶圆只需要 12 秒，这还得扣除掉晶圆交换和定位的时间，实际光刻时间要更短。而一片晶圆的光刻过程，需要在晶圆上近 100 个不同的位置成像电路图案，所以完成 1 个影像单元（Field）的曝光成像也就约 0.1 秒。所以大家看到的动画其实都是慢动作了。要实现这个成像速度，晶圆平台在以高达 7g 的加速度高速移动。7g 加速度是什么概念呢？F1 赛车从 0 到 100k