Atonarp推出创新计量平台Aston

日本东京2021年7月15日 /美通社/ -- 面向半导体、医疗保健和制药行业的分子传感和诊断产品领先制造商Atonarp今天宣布推出Aston，这是一个创新的原位半导体计量平台，集成了等离子体离子源。 Atonarp推出的Aston是一个创新的原位半导体计量平台，集成了等离子体离子源。 Ascon是半导体生产过程计量领域的一项重大进展，可实现原位分子过程控制，并有助于现有晶圆厂更高效地运行，从而推动产量的提高。Ascon是一个用于半导体生产的强大平台，从头开始构建，可替代多种传统工具，并在一整套应用中提供前所未有的控制水平，包括光刻、电介质及导体蚀刻和沉积、腔室清洁、腔室匹配和气体减排。 “通过Aston，我们看到某些应用中单位流程吞吐量增长超过40%，这是一项重大改进。即使晶圆厂总产量增长1%，也可以为一家典型的晶圆厂每年增加价值数千万美元的产量，”Atonarp创始人兼首席技术官Prakas