东方晶源国内首台关键尺寸量测设备（CD-SEM）出机中芯国际

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【TechWeb】7月6日消息，近日国内半导体制造良率管理设备厂商东方晶源在北京总部举行了国内首台关键尺寸量测设备（CD-SEM）出机仪式，正式宣布斩获订单并出机中芯国际。东方晶源董事长俞宗强博士、总经理蒋俊海先生，北京市经信委、亦庄管委会、国家02专项以及东方晶源客户、股东、投资方等代表出席了此次活动，共同见证了这一重要时刻。此次出机仪式，标志东方晶源继2019年攻克电子束缺陷检测技术后，再一次取得了重大产品技术突破，填补了国产关键尺寸量测设备（CD-SEM）的市场空白。 据悉，此次出机的关键尺寸量测设备（型号：SEpA-c410）面向300mm硅片工艺制程，通过先进的电子束成像系统和高速硅片传输方案，搭配精准的量测算法，可实现高重复精度、高分辨率及高产能的关键尺寸量测。进驻中芯国际后，将通过实际产线验证，进一步提升、完善设备性能，向产业化目标整体迈进。 中芯国际是世界领先的集成电路晶圆代工企业之一，也是中国内地技术最先进、