国产刻蚀设备商冲科创板，已打入 5nm 逻辑芯片量产线

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6 月 26 日报道，昨天，半导体设备厂商北京屹唐半导体科技股份有限公司（以下简称屹唐股份）申报科创板 IPO 获受理。屹唐股份主营业务为干法去胶设备、快速热处理设备和干法刻蚀设备等集成电路制造设备及配套工艺解决方案，去胶、热处理和刻蚀都是晶圆加工的重要环节。▲集成电路前道芯片制造工艺流程根据美国市场分析公司 Gartner 的数据，2020 年屹唐股份干法去胶设备、快速热处理设备的市场占有率分别位居全球第一、第二。屹唐股份的主要经营主体为美国半导体设备厂商 Mattson Technology Inc.（MTI）。MTI 原为美国纳斯达克证券交易所上市公司，2016 年屹唐股份完成其私有化收购，MTI 从美股退市。目前，MTI 主要承担屹唐股份干法去胶设备、快速热处理设备、干法刻蚀设备的研发、制造、销售等职能。▲屹唐股份下属子公司、分公司架构图报告期内，屹唐股份营收呈增长趋势，2018 年-2020 年营收分别为 15.18