东京电子将向ASML提供面向新一代EUV的设备

近日，日本半导体制造设备大型企业东京电子（Tokyo Electron）发布计划称，将向同行业的荷兰ASML和比利时的研究机构imec联合运营的实验室供应新一代设备。东京电子将提供在半导体晶圆上涂布感光剂使之显影的“涂布显影设备”。这是东京电子首次向上述实验室提供设备。该设备将与ASML生产的属于尖端光刻设备的“EUV（极紫外）光刻设备”的新一代产品进行组合。（日经中文网）