布局光刻机核心器件，华为哈勃投资入股科益虹源

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IT之家 6 月 5 日消息 众所周知，光刻机是半导体行业最重要也最需要的设备之一，目前全球半导体设备行业多由几个美日欧龙头企业把持。根据企查查的资料显示，国内高端准分子激光技术厂商北京科益虹源光电技术有限公司（以下简称“科益虹源”）发生工商信息变更，新增新增股东华为关联公司哈勃科技投资有限公司等企业成为公司股东。同时该企业注册资金由 12000 万元提升至 20160 万元，增幅达 68%。其中，哈勃投资持股 4.7619%。IT之家了解到，科益虹源成立于 2016 年 7 月，由中国科学院微电子所、亦庄国投、国科科仪等共同出资设立。注册资本 2.02 亿元，经营范围包含销售机械设备、电子产品等。据悉，科益虹源自主设计开发的国内首台高能准分子激光器已于 2018 年 3 月顺利出货，打破了国外厂商的长期垄断。藉此，科益虹源从此成为了中国唯一、世界第三家具备高端准分子激光技术研究和产品化的公司。此外，科益虹源也是国产光刻机厂商上