中国芯片刻蚀机第一人：77 岁尹志尧 12 句话说透芯片制造

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4 月 26 日报道，上周二，新一期杨澜访谈录节目《逐风者》专访我国半导体设备产业的重要领军人物之一 —— 尹志尧。尹志尧现年 77 岁，在技术及产品的开发中获得过 400 多项各国专利，被评价为“硅谷最有成就的华人之一”。至今，全世界超过一半的刻蚀设备都有他参与领导和开发的身影。从硅谷归国的他，人生经历颇有一些传奇色彩。尹志尧 1944 年出生于北京，18 岁考入中科大化学物理系，24 岁被分配至兰州炼油厂，36 岁获北大化学系硕士学位，后赴美国加州洛杉矶分校攻读物理化学博士。2004 年，他选择放弃美国百万年薪，带领着 15 人小团队，空手回祖国创办中微公司，专注于研发芯片制造不可或缺的刻蚀设备。作为几代等离子体刻蚀技术及设备的主要发明人和工业化应用的推动者之一，尹志尧曾帮助泛林半导体、应用材料成为等离子体刻蚀设备的领先公司。但当中微做出自己的首个刻蚀机产品时，却被尹志尧的美国老东家告上法庭。因为怀疑中微拿了其商业机密，美国