微比恩 > 信息聚合 > 阿斯麦高数值孔径极紫外光刻NXE:5000系列设计已基本完成

阿斯麦高数值孔径极紫外光刻NXE:5000系列设计已基本完成

2020-12-29 10:23:00来源: TechWeb

【TechWeb】12月29日消息,据国外媒体报道,阿斯麦是全球目前唯一能制造极紫外光刻机的厂商,在推出TWINSCAN NXE:3400B和NXE:3400C这两款极紫外光刻机之后,他们还在研发更先进、效率更高的极紫外光刻机。 阿斯麦极紫外光刻机 在10月14日发布的三季度财报中,阿斯麦就披露他们新一代的极紫外光刻机TWINSCAN NXE:3600D,计划在明年年中开始出货,生产效率较目前的产品提升18%。 而从外媒的报道来看,除了NXE:3600D,阿斯麦还在研发高数值孔径的极紫外光刻机NXE:5000系列,设计已经基本完成。 外媒在报道中也表示,虽然阿斯麦NXE:5000高数值孔径极紫外光刻机的设计已基本完成,但商用还需时日,预计在2022年开始商用。 作为一款高数值孔径的极紫外光刻机,NXE:5000系列的数值孔径,将提高到0.55,阿斯麦目前已推出的TWINSCAN NXE:3400B和NXE:3400C这两款极紫

关注公众号
标签: 设计