北方华创刻蚀机 1000 腔顺利交付：12 英寸已实现客户端 28nm 国产化替代

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IT之家 12 月 11 日消息 据北方华创官方发布， 12 月 1 日，北方华创 lCP 刻蚀机 1000 腔交付仪式在亦庄基地隆重举行。IT之家获悉，北方华创公司于 2001 年成立，开始组建团队钻研刻蚀技术，2004 年首台设备实现成功起辉，2005 年第一台 8 英寸 ICP 刻蚀机在客户端上线，并于 2007 年获得国家科学技术进步二等奖。在集成电路领域获得突破的同时，北方华创在积极将刻蚀技术横向拓展，目前应用领域已覆盖集成电路、LED、先进封装、功率半导体、MEMS、化合物半导体、硅基微显等多个领域。12 英寸 ICP 刻蚀机在实现客户端 28nm 国产化替代同时，在 14/7nm SADP/SAQP、先进存储器、3D TSV 等工艺应用中也发挥着重要作用。